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CV-2100轮廓测定仪发布日期：2021-06-16 浏览次数：0
CV-2100輪廓儀規格表 | |||||
| 量測範圍 | X軸 | 100mm | |||
| Z1軸(檢出裝置) | 50mm | ||||
| Z2軸(立柱)移動範圍 | 350mm | ||||
| X軸傾斜角度 | ±45° | ||||
| 解析度 | X軸 | 0.1µm | |||
| Z1軸 | 0.1µm | ||||
| 驅動方式 | X軸 | 馬達驅動 (0 - 20mm/s) | |||
| Z1軸(立柱) | 手動（快速上下移動，微動） | ||||
| 量測速度 | 0.02 - 5mm/s | ||||
| 線性精度（X軸水平方向） | 2.5µm/100mm | ||||
| 精度 (20°C) | X軸 | ±(2.5+0.02L) µm L = 量測長度(mm) | |||
| Z1軸 | ±(2.5+|0.1H|) µm H = 從水平位置測定的高度 在±25mm以內 | ||||
| 測定面方向 | 拉、壓兩種方向 | ||||
| 測定面方向 | 向下 | ||||
| 測定力 | 30±10mN (3gf) | ||||
| 測針追蹤角度(標配測針) | 上升77°、下降87°（依其表面性質而定） | ||||
| 外觀尺寸 (W×D×H) | 745×450×885mm | ||||
| 重量 | 145.8 kg | ||||
